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個人基本情況

廖廣蘭(Liao Guanglan，Professor)，男，華中科技大學機械科學與工程學院機械電子與信息工程系教授、博士生導師，中國機械工程學會、中國微米納米技術學會高級會員。2009年參與國家級教學團隊《機械學科測控課程群教學團隊》、2011年入選教育部新世紀優秀人才支持計劃、2012年獲得國家優秀青年科學基金資助、2013年作為核心人員參加教育部創新團隊《微納制造與納米測量技術》。近年來主要從事微納制造、微電子封裝及測試等方面的教學科研工作，主持5項國家自然科學基金委優秀青年基金、面上項目、青年基金及對外交流與合作項目，參與國家973、863、重大專項項目等十余項，在ACS Nano、Nanoscale Research Letters、IEEE Trans.、Sensor Actuat A-phys等雜志發表學術論文百余篇，其中錄用和發表SCI刊源論文50余篇，多篇文章被Nature Photonics、Nano Lett.、Acs Nano等雜志引用。申請國家發明專利36項，獲得授權12項。

電話：027-87793103

郵箱：guanglan.liao@hust.edu.cn

教師主頁平臺：http://faculty.hust.edu.cn/liaoguanglan/zh_CN/index.htm

主要研究方向

微納制造與測試

微電子封裝

故障診斷

開設課程

《工程測試技術》

《微細加工與納米技術》

《軟件技術基礎》

《數據庫技術》

近年的科研項目、專著與論文、專利、獲獎承擔的科研項目：

1. 國家自然科學基金委優秀青年基金“仿生微納制造與應用研究”(2013-2015)

2. 國家自然科學基金面上項目“染料敏化太陽能電池光陽極結構的仿生設計與可控制備”(2012-2015)

3. 國家自然科學基金面上項目“熱/聲激勵的高密度超細間距倒裝焊缺陷診斷方法研究”(2010-2012)

4. 國家自然科學基金青年基金“MEMS封裝失效的診斷與預測方法研究”(2005-2007)

部分授權發明專利：

1. 一種硅濕法刻蝕工藝ZL 200510019052.4

2. 一種三維微型模具的制造方法ZL 200810047229.5

3. 一種短波長光輔助硅片直接鍵合方法ZL 200810047324.5

4. 一種芯片焊點缺陷在線檢測方法及裝置ZL 201010160537.6

5. 一種仿蝴蝶磷翅分級多層非對稱微納結構的制備方法ZL 201010160958.9

6. 一種仿生微納結構制備方法ZL 201010161272.1

7. 用于制造太陽能電池光陽極的方法及其產品ZL 201110421633.6

8. 一種仿壁虎腳結構材料制造工藝ZL 201210168024.9

9. 一種太陽能電池光陽極的微納復合結構及其制備方法ZL 201210179386.8

10. 一種磁場輔助的硅微納加工工藝及裝備ZL 201210192208.9

11. 一種擴散焊制備多層非晶合金與晶態金屬復合結構的方法ZL 201210388962.X

12. 一種微米管制造工藝ZL 201310025430.4

榮譽與獎勵：

1. 2009年參與國家級教學團隊《機械學科測控課程群教學團隊》

2. 2011年入選教育部新世紀優秀人才支持計劃

3. 2012年獲得華中科技大學第三屆研究生導師“治學楷模”師表獎

4. 2012年獲得國家自然科學基金優秀青年基金

5. 2012年被聘為華中學者“晨星崗”

6. 2013年作為核心人員參加“微納制造與納米測量技術”教育部創新團隊

代表性著作：

1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169

2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341

3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006.

4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373

5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290